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精密な PCB を使う携帯電話の製造に リニアモーションステージシステムは PCB の生産、検査に応用され、携帯電話の自動組み立て装置にも適用されます。 |
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半導体の生産に必須である Wafer Review 、 Wafer Probe 、 Overlay Measurement 、 CD Measurement 、 Reticle Inspection 、 Defect Inspection などの半導体装置に適用されています。 |
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TFT-LCD 、 PDP 、 OLED などの生産に必須である Automatic Optical Inspection 、 Lithography 、 Metrology 、 Coating 、 Inkjet Printing 、 Trimming/Repair 工程の装置に適用される核心部品です。 |
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新しい応用分野として遺伝子分析装置と DNA Chip 製造等の生命工学の核心装置にも精密な小型ステージが使われ、ガントリーステージは大量の試料分析装置に使われます。 |
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Nano レベルのセンサー、機械、器具の製作に必要な精密な位置制御コントロール技術を有しており、今後 Nano 産業の発展に必要な装置産業に応用されます。 |
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